Технические характеристики
Система сканирования  
  Сканирование образцом

  Диапазон измерений линейных размеров

в плоскости XY,мкм

не менее 70

  Диапазон измерений линейных размеров

по оси Z, мкм

не менее 10
  Пошаговое сканирование (Мин. шаг) 1 Å

  Среднеквадратичное отклонение (СКО)

результатов измерений линейных

размеров в плоскости XY

не более 5%

  Среднеквадратичное отклонение (СКО)

результатов измерений линейных

размеров по оси Z

не более 5%
Разрешение  
  Разрешение в плоскости XY не более 50 нм
  Разрешение по оси Z не более 2 нм
  Максимальное число точек сканирования по X и Y 1024х1024
  Нелинейность сканирования в плоскости XY не более 30 нм
  Неортогональнасть сканера в плоскости XY не более 5°
  Неплоскостность сканирования в плоскости XY не более 500 нм
  Дрейф в плоскости XY не более 5 А/c
  Дрейф по оси Z не более 5 А/c
  АСМ режим X_Y – 50 нм, вплоть до 10 нм с использованием острой иглы и виброизоляции; Z – 3 нм
  СТМ режим X_Y – 10 нм, Z – 3 нм
Операционные системы Windows Vista/7/8
Образец  
  Размер образца диаметр вплоть до 12 мм
  Толщина образца вплоть до 5 мм
  Возможность подавать напряжение на образец есть
Массо-габаритные характеристики  

  Габаритные размеры контроллера

(длина x глубина x высота)

260х160х360 мм

  Габаритные размеры измерительной головки

(длина x глубина x высота)

160х160х130 мм
  Масса (в комплекте) не более 8 кг
Условия эксплуатации  
  Напряжение питания переменного тока 220(+10/-15%) В
  Потребляемая мощность не более 60 Вт
  Темепература окружающего воздуха 20±5 °С
  Относительная влажность воздуха не более 65±15 %
  Атмосферное давление 760±30 мм рт.ст
  Дрейф температуры не более 1 °С в час

  Амплитуда вибраций в полосе частот

1-1000 Гц

не более 0,5 мкм