Технические характеристики ProBeam

Система сканирования

 

  Сканирование

зондом

  Диапазон измерений линейных размеров

  в плоскости XY,мкм

не менее 7

  Диапазон измерений линейных размеров

  по оси Z, мкм

не менее 7

  Пошаговое сканирование (Мин. шаг)

1 Å

  Среднеквадратичное отклонение (СКО)

  результатов измерений линейных

  размеров в плоскости XY

не более 5%

 

  Среднеквадратичное отклонение (СКО)

  результатов измерений линейных

  размеров по оси Z

 

Механизм перемещения зонда для выбора места сканирования

Диапазон перемещения зонда   в плоскости XY  10х10 мм 

Минимальный шаг перемещения зонда  20 нм

Максимальная скорость перемещения зонда 500 мкм\c                                                               

не более 5%

 

Разрешение

 

  Разрешение в плоскости XY

не более 50 нм

  Разрешение по оси Z

не более 2 нм

  Максимальное число точек сканирования по X и Y

1024х1024

  Нелинейность сканирования в плоскости XY

не более 30 нм

  Неортогональнасть сканера в плоскости XY

не более 5°

  Неплоскостность сканирования в плоскости XY

не более 500 нм

  Дрейф в плоскости XY

не более 5 А/c

  Дрейф по оси Z

не более 5 А/c

  АСМ режим

X_Y – 50 нм, вплоть до 10 нм с использованием острой иглы и виброизоляции; Z – 3 нм

  СТМ режим

X_Y – 10 нм, Z – 3 нм

Операционные системы

Windows Vista/7/8

Образец

 

  Размер образца

диаметр вплоть до 12 мм

  Толщина образца

вплоть до 5 мм

  Возможность подавать напряжение на образец

есть

Массо-габаритные характеристики

 

  Габаритные размеры контроллера

  (длина x глубина x высота)

280х200х60 мм

  Габаритные размеры измерительной головки

  (длина x глубина x высота)

65х65х40 мм

  Масса (в комплекте)

не более 1 кг

Условия эксплуатации

 

  Напряжение питания переменного тока

220(+10/-15%) В

  Потребляемая мощность

не более 60 Вт

  Темепература окружающего воздуха

20±5 °С

  Относительная влажность воздуха

не более 65±15 %

  вакуум не хуже

10-4 Pa

  Дрейф температуры

не более 1 °С в час

  Амплитуда вибраций в полосе частот

  1-1000 Гц

не боле 2 нм