Пьезоинерциальный двигатель (ПД)

Это позиционер однокоординатный универсального применения. Принцип действия основан на движении инерционной массы вдоль направляющей при наличии трения. Устройство управляется несимметричными треугольными импульсами напряжения. В основе конструкции лежит пьезокерамический актуатор в виде пьезопакета. Благодаря большой силе трения инерционная масса, несущая на себе перемещаемый объект, не проскальзывает в состоянии покоя, поэтому устройство может использоваться для перемещения, как по горизонтали, так и по вертикали. Кроме того, ПД может использоваться как сканирующее устройство, например для СЗМ.

Технические данные ПД:

Диапазон дискретного перемещения, мм ± 5
Минимальный шаг, нм 50
Диапазон управляющих напряжений, В 3- 40
Форма управляющего импульса Треугольный несимметричный импульс
Максимальная скорость перемещения, мм/с 2
Габаритные размеры, мм 40х30х13
Диапазон перемещения в режиме сканирования (U=120В), мкм 7
Вертикальная нагрузка при горизонтальном перемещении, г 500

001

На основе пьезоинерциальных двигателей можно построить различные варианты двух- и трехкоординатных позиционеров с нанометровым перемещением, а также конструировать СЗМ различных конфигураций подобно конструктору LEGO. Для автономных применений ПД может снабжаться автономным USB контроллером с тремя каналами управления и соответствующим ПО.