3-х координатный позиционер с оптическими энкодерами (ПЭ).
Это устройство перемещает легкий объект по трем координатам под действием линейно нарастающих напряжений (сканер трехкоординатный.) Основой конструкции являются плоские метало-пьезокерамические биморфные элементы. Позиционер метрологически обеспечен линейными оптическими энкодерами для линеаризации движения по осям XY.

Технические данные:

Точность позиционирования по осям XY, нм 10
Диапазон управляющих напряжений, В 0- 250
Резонансная частота, кГц 0.6-1
Габаритные размеры, мм 65х65х45
Диапазон перемещения в режиме сканирования (U=250В), мкм 90х90х20
Макс. Вес образца, г 10

Для автономных применений ПЭ может снабжаться автономным USB контроллером измерения перемещений.